ASML HOLDING NV去年的收入达26.75 B CHF，其中大部分 — 9.50 B CHF — 来自它目前表现最好的来源，Argon Fluoride Immersion, 前一年带来了8.21 B CHF. 中国对收入数字的贡献最大 — 去年它带来了ASML HOLDING NV 10.02 B CHF, 以及前一年 — 6.60 B CHF.
