ASML去年的收入达27.56 B EUR,其中大部分 — 9.12 B EUR — 来自它目前表现最好的来源,Extreme Ultraviolet, 前一年带来了7.05 B EUR. 中国台湾对收入数字的贡献最大 — 去年它带来了ASML 8.07 B EUR, 以及前一年 — 8.10 B EUR.